發光二極管芯片檢測方法
發布時間:2021-10-19 文章出自:http://www.sdbc.cc/
一種圓片級發光二極管芯片檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡。此檢測方法包括:提供一透明探針卡,且透明探針卡覆蓋于圓片的上方,并以透明探針卡的接點電性連接LED芯片的測試墊,以對LED芯片進行一點亮測試。當LED芯片發光后,對LED芯片的光信號進行一成像處理,以形成一影像于一感測元件上。擷取影像,并將影像的信號轉換成對應于各個LED芯片的一光場信息及一位置信息。根據LED芯片的光場信息,得到LED芯片的光譜及發光強度。根據LED芯片的光譜及發光強度,以對LED芯片進行分類。本發明還揭露一種應用上述檢測方法的圓片級LED發光二極管芯片檢測裝置及透明探針卡。上述的檢測方法、檢測裝置及其透明探針卡,具有提高檢測速度及快速分類的優點。